К ИСТОРИИ РАЗВИТИЯ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В КОСМОСЕ

© В.Ю.Антропов, В.М.Бирюков, Ю.Н.Дьяков, А.И.Иванов, Е.В.Марков, В.П.Никитский, В.А.Пильгун, Ю.П.Семенов
© Государственный музей истории космонавтики им. К.Э. Циолковского, г. Калуга
Секция "К.Э. Циолковский и проблемы космического производства"
2002 г.

Научно-производственный концерн «Научный центр» и РКК «Энергия» двадцать лет успешно работают над совместной программой научных экспериментов и технологических исследований в области получения полупроводниковых материалов на пилотируемых космических комплексах «Салют-6», «Салют-7» и «Мир».

На первом, поисковом, этапе (1976–1987 гг.) была создана исследовательская аппаратура «Кристалл», «Магма», «Корунд» и выполнено свыше 400 технологических экспериментов по национальной программе и по программе «Интеркосмос» совместно с рядом зарубежных стран. Экспериментальные и теоретические исследования показали, что космос является уникальной технологической средой, использование которой позволяет существенно улучшить качество полупроводниковых и других материалов по сравнению с наземными аналогами.

На втором этапе (1989–1997 гг.) на аппаратуре нового поколения «Кратер-В», «Галлар» и «Оптизон-1», установленной на орбитальной станции «Мир», были отработаны базовые технологические процессы выращивания полупроводниковых кристаллов и других материалов из расплава и газовой фазы методами направленной кристаллизации, физического и химического осаждения из газовой фазы, бестигельной зонной плавки, спекания, самораспространяющегося высокотемпературного синтеза и пр.

На третьем этапе (с 1998 г. по настоящее время) была создана и установлена на борту орбитального комплекса «Мир» новая аппаратура «Кратер-ВМ», размещенная на виброзащитной платформе (разработка НПО «Композит»).

Перспективным направлением для микро- и наноэлектроники будущего является проведение работ по молекулярно-лучевой эпитаксии для получения полупроводниковых структур в сверхвысоком (до 10 мм. рт. ст.) бескислородном вакууме за молекулярным экраном в открытом космосе.